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KAIST 반도체공학대학원 공동장비 예약 메인으로 이동

장비 예약

  • 미래융합소자동 1층 측정실 AFM

    1. 자율사용자 교육 (매달 첫번째, 세번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
    2. 자율사용자 교육은 Topology 측정에만 해당. 
    3. 로그북 필수 작성 
    4. AFM tip은 랩별 별도 구비해서 가져와서 사용.(추천하는 AFM tip)
          A. Topology  (non-contact)   : NCHR-10  
          B. DCEFM/CAFM (contact)    : NSC36-Cr/Au, NSC36-Ti/Pt , PPP-CONTSCPt
          C. EFM/KPFM (non-contact) : NSC14-Cr/Au, PPP-NCSTAu 
          D. MFM   : PPP-MFMR 
    .
    .
    주요사양
    1. XY scan range: 5x5 𝜇𝑚 ~ 100x100 𝜇𝑚
    2. Mode : Contact, Non-contact
    3. Measurement :
    - Topology 
    - Lateral Force Microscopy (LFM) 
    - Electrostatic Force Microscopy (EFM)
    - Conductive-AFM (CAFM)
    - Kelvin probe microscopy (KPFM)
    - Magnetic Force Microscopy (MFM)

    • 설치장소 미래융합소자동 1층 측정실
    • 모델명 XE70
    • 담당자 정보

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    • 사용료 무료
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