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나노종합기술원 교육용팹
미래융합소자동 클린룸
Furnace
E-beam evaporator
ICP-Asher
CMOS Oxidation Tube Furnace
Manual Mask Aligner
나노종합기술원 교육용팹
CMOS Oxidation Tube Furnace
H2, N2, O2 유입 및 열처리를 통한 Si wafer oxidation
설치장소
나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 CMOS room
모델명
SFJ-2000
담당자 정보
박영근
pyk0808@kaist.ac.kr
사용료
무료
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