2. 자율사용자 교육은 Topology 측정에만 해당.
3. 사용시 장치이상 발견시 필히 연락.
4. 바탕화면 자료 폴더에 분석 프로그램 설치파일과 해당 분석 매뉴얼 pdf 존재함으로 copy해 가도됨.
5 AFM tip은 랩별 별도 구비해서 가져와서 사용.(추천하는 AFM tip)
A. Topology (non-contact) : NCHR
B. DCEFM/CAFM (contact) : NSC36-Cr/Au, NSC36-Ti/Pt , PPP-CONTSCPt
C. EFM/KPFM (non-contact) : NSC14-Cr/Au, PPP-NCSTAu
D. MFM : PPP-MFMR
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주요사양
1. XY scan range: 5x5 𝜇𝑚 ~ 100x100 𝜇𝑚
2. Mode : Contact, Non-contact
3. Measurement :
- Topology
- Lateral Force Microscopy (LFM)
- Electrostatic Force Microscopy (EFM)
- Conductive-AFM (CAFM)
- Kelvin probe microscopy (KPFM)
- Magnetic Force Microscopy (MFM)