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  • 미래융합소자동 클린룸 Plasma RIE

    Ar, O2, SF6 plasma 처리

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 나노에너지
    • 모델명 CIONE 4
    • 담당자 정보

      염동주 1500dd87a8@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 페릴린 코팅 장치

    페릴린 코팅

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 나노바이오
    • 모델명 OBT-PC300
    • 담당자 정보

      이주현 juulee@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 Polymer Etcher

    Polymer (PDMS, SU-8, Polyimide, Teflon 등) Etching

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 에너지룸
    • 모델명 V15-G
    • 담당자 정보

      지경준 kjunji0102@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 옐로우룸
    • 모델명 MA/BA 6 Gen4
    • 담당자 정보

      황호상 whangdg@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 1층 측정실 AFM

    1. 자율사용자 교육은 장비 담당 학생에게 연락하며  Topology 측정에만 해당. 
    3. 사용시 장치이상 발견시 장비 담당 학생에게 연락.
    4. 바탕화면 자료 폴더에 분석 프로그램 설치파일과 해당 분석 매뉴얼 pdf 존재함으로 copy해  가도됨.   
    5 AFM tip은 랩별 별도 구비해서 가져와서 사용.(추천하는 AFM tip)
          A. Topology  (non-contact)   : NCHR
          B. DCEFM/CAFM (contact)    : NSC36-Cr/Au, NSC36-Ti/Pt , PPP-CONTSCPt
          C. EFM/KPFM (non-contact) : NSC14-Cr/Au, PPP-NCSTAu 
          D. MFM   : PPP-MFMR 
    .
    .
    주요사양
    1. XY scan range: 5x5 𝜇𝑚 ~ 100x100 𝜇𝑚
    2. Mode : Contact, Non-contact
    3. Measurement :
    - Topology 
    - Lateral Force Microscopy (LFM) 
    - Electrostatic Force Microscopy (EFM)
    - Conductive-AFM (CAFM)
    - Kelvin probe microscopy (KPFM)
    - Magnetic Force Microscopy (MFM)
    .
    장비 담당 학생
    최민석 010-3262-7792 lovenmin@kaist.ac.kr
    유승선 010-4255-5095 seungsun99@kaist.ac.kr

    • 설치장소 미래융합소자동 1층 측정실
    • 모델명 XE70
    • 담당자 정보

      최민석 lovenmin@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료