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장비 예약

  • 미래융합소자동 클린룸 Plasma RIE

    Ar, O2, SF6 plasma 처리

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 나노에너지
    • 모델명 CIONE 4
    • 담당자 정보

      고영규 ykko@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료

1시간 이상 사용 시 담당자에게 문의 바랍니다.

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