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나노종합기술원 교육용팹
미래융합소자동 클린룸
Plasma RIE
페릴린 코팅 장치
Polymer Etcher
마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)
진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)
전자빔 증착기 (Ebeam)
고주파유도가열기(CMOS용)
고주파유도가열기(MEMS용)
미래융합소자동 클린룸
마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)
설치장소
미래융합소자동 클린룸 1층 옐로우룸
모델명
MA/BA 6 Gen4
담당자 정보
백우진
woojinbaek@kaist.ac.kr
사용료
무료
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