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나노종합기술원 교육용팹
미래융합소자동 클린룸
Plasma RIE
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고주파유도가열기(CMOS용)
고주파유도가열기(MEMS용)
미래융합소자동 클린룸
고주파유도가열기(CMOS용)
고온에서 열처리를 위한 장비
설치장소
미래융합소자동 클린룸 1층 오가닉룸 (안쪽)
모델명
RTP-200
담당자 정보
김승훈
kimtmdgns97@kaist.ac.kr
사용료
무료
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