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KAIST 반도체공학대학원 공동장비 예약 메인으로 이동

장비 예약

  • 나노종합기술원 교육용팹 ICP-Asher

    Ar, O2 plasma 처리

    • 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 CMOS room
    • 모델명 KVA-3008DC
    • 담당자 정보

      강민석 aidenminseok@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
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