장비 예약
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나노종합기술원 교육용팹 E-beam evaporator금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비
- 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 MEMS room
- 모델명 -
- 담당자 정보
- 사용료 무료
증착 후 조건 및 소스 잔여량 (Au, Pt) 작성 필수 / Au, Pt 소스는 300 nm 사용 시 반드시 보충