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  • 미래융합소자동 1층 측정실 광학현미경 (Optical microscopy)

    <사용 사항>

    (1) ***해당 장비는 예약없이 사용을 바로 할 수 있음*** (사용자가 있을 경우 기다렸다가 사용함.)

    (2) 조명은 on한 후 천천히 세기를 올리고, 끌 때도 조명 세기를 약하게 한 후 off함.

    (3) 측정 종료 후 조명 끄는 것 잊이 말 것.

    (4) 장비 이상 시 연락 (연구교수 박철민 cheolminpark@kaist.ac.kr)

    < 장비 사양>

    (1) Objective lens : x4, x10, x20, x50, x100

    (2) 영상 프로그램을 통해서 이미지 캡쳐 및 길일 측정 가능

    (3) x50 objective lens의 경우 bright field 뿐아니라 Dark field 측정도 가능

    (4) 480 nm, 550  nm 조명 필터 : 해당 빛 파장에 대한 형광이미징 가능

       U-25Y48 filter : 480 nm 부근 파장을 입사광으로 사용

       U-25IF550 filter  : 550 nm 부근 파장을 입사광으로 사용 

    (5) 편광 특성 측정 가능 

       U-PO3 filter :  linear polarizer 조명을 특정 편광으로 조사.

       U-AN360-3 : analyzer 손으로 각도를 조절하여 해당 편광 특성 확인. 

    • 설치장소 미래융합소자동 1층 측정실
    • 모델명 -
    • 담당자 정보

      -

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 고주파유도가열기(MEMS용)

    고온에서 열처리를 위한 장비

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 오가닉룸 (입구)
    • 모델명 RTP-200
    • 담당자 정보

      송준기 sjg731@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 나노종합기술원 교육용팹 Furnace

    최대 900 도 온도까지 조절할 수 있는 전기로

    • 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 MEMS room
    • 모델명 GTF-1630
    • 담당자 정보

      노승빈 seungbeen.noh@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 나노종합기술원 교육용팹 E-beam evaporator

    금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비

    • 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 MEMS room
    • 모델명 -
    • 담당자 정보

      정명근 yjs0946@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 나노종합기술원 교육용팹 ICP-Asher

    Ar, O2 plasma 처리

    • 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 CMOS room
    • 모델명 KVA-3008DC
    • 담당자 정보

      노건우 rkw0803@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료