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나노종합기술원 교육용팹
미래융합소자동 클린룸
Plasma RIE
페릴린 코팅 장치
Polymer Etcher
마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)
진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)
전자빔 증착기 (Ebeam)
고주파유도가열기(CMOS용)
고주파유도가열기(MEMS용)
Furnace
E-beam evaporator
ICP-Asher
CMOS Oxidation Tube Furnace
Manual Mask Aligner
나노종합기술원 교육용팹
ICP-Asher
Ar, O2 plasma 처리
설치장소
나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 CMOS room
모델명
KVA-3008DC
담당자 정보
노건우
rkw0803@kaist.ac.kr
사용료
무료
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