장비 정보

미래융합소자동 클린룸 전자빔 증착기 (Ebeam)
전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 Nano Energy Room
- 모델명 KVE-E4000L
- 담당자 정보
  이신형 tlsgud907@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 고주파유도가열기(CMOS용)
고온에서 열처리를 위한 장비
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 오가닉룸 (안쪽)
- 모델명 RTP-200
- 담당자 정보
  김승훈 kimtmdgns97@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 고주파유도가열기(MEMS용)
고온에서 열처리를 위한 장비
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 오가닉룸 (입구)
- 모델명 RTP-200
- 담당자 정보
  송준기 sjg731@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
나노종합기술원 교육용팹 Furnace
최대 900 도 온도까지 조절할 수 있는 전기로
- 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 MEMS room
- 모델명 GTF-1630
- 담당자 정보
  이소영 sylee11@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
나노종합기술원 교육용팹 E-beam evaporator
금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비
- 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층 교육용팹 MEMS room
- 모델명 -
- 담당자 정보
  정명근 yjs0946@kaist.ac.kr
- 사용료 무료

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