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  • 미래융합소자동 1층 측정실 FESEM/EDS

    <예약관련>

    (1) 자율사용자 교육 (매달 두번째/네번째 화요일 2시, 장소: 해당 측정실) 후 예약가능. (일자와 시간을 정해서 이메일 신청: 연구교수 박철민, cheolminpark@kaist.ac.kr)

    (2) 최소 1시간 예약, 최대3시간 예약

    (3) 24시간 예약 사용 가능. 

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     < 사용시 주의사항>

    (1) 파우더등 날리는 시료 및 부착이 단단하지 않은 carbon nanotube nanowire 측정 금지.

    (2) Vent할때 뚜껑이 아직 닫혀 있는데 과도하게 당겨서 열려고 하지 말 것

    (3) Pumping할 때 살짝 뚜껑을 손으로 누르고 있는 상태에서 Pump 버튼을 누른 후 누르는 상태를 10초간 유지.

    (4) Working distance를 좁힐 때 조금씩 좁히며, Pole piece에 닿지 않게 주의. (카메라 화면을 보면서 GoTo를 누른 후  pole piece에 닿을 것 같으면 바로 Stop 버튼을 누름)

    (5) 전압과 전류를 한번에 과도하게 높이지 말고 점진적으로 높이거나 줄임.

    (6) 종료 시 저배율로 하고 전압, 전류 낮춘 후 beam off.

    (7) 시료 수거 후 안전하게 (3)과 같이 Pumping하여 진공 잡고 퇴장함.

    *기타 이슈사항 발생시 관리자에게  꼭 연락  (cheolminpark@kaist.ac.kr)

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    < 교육 동영상>
    중앙분석센터 홈페이지/교육및세미나/교육동영상에서 [S6](Self)Field Emission SEM (Magellan 400)"을 검색해서 해당 영상 참조
     .
    <주요사양>
    1. 분해능(최적 작동거리 상) : 0.8 nm at 15kV /  0.9 nm at1 kV / 1.5 nm at 200V
    2. 측정 가능 영역 :  ≤ 100 nm ~ 1.5 mm
    3. 가속전압 : 50 V ~ 30 kV / 빔 전류 : 1 pA ~ 22 nA
    4. 5축 피에조 스테이지 : 
    - XY: 100 mm, 
    -  Z: ≥ 20 mm, 
    - T: - 10 ° to + 60 °, 
    - R: 360 ° continuous

    • 설치장소 미래융합소자동 1층 측정실
    • 모델명 Magellan400
    • 담당자 정보

      -

    • 사용료 무료
  • 나노종합기술원 교육용팹 Alpha Step

    300mm 영역까지 측정 가능한 최적화된 QA/QC 프로파일러

    • 설치장소 나노종합기술원 교육용팹 4층
    • 모델명 DektakXT
    • 담당자 정보

      Erick Chica erickchica@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)

    열을 이용해 시료를 녹여 증착한다

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 Nano infor Room
    • 모델명 KVE-T4000
    • 담당자 정보

      주민규 ericju9987@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 전자빔 증착기 (Ebeam)

    전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 Nano Energy Room
    • 모델명 KVE-E4000L
    • 담당자 정보

      황현성 terry5328@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료
  • 미래융합소자동 클린룸 고주파유도가열기(CMOS용)

    고온에서 열처리를 위한 장비

    • 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 오가닉룸 (안쪽)
    • 모델명 RTP-200
    • 담당자 정보

      김승훈 kimtmdgns97@kaist.ac.kr

    • 사용료 무료