장비 예약
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미래융합소자동 클린룸 전자빔 증착기 (Ebeam)전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 Nano Energy Room
- 모델명 KVE-E4000L
- 담당자 정보
- 사용료 무료
최초 사용 희망 시 관리자에게 연락 필수, 시스템 상 예약만으로 사용 불가능 (장비 교육 필요)
전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비
최초 사용 희망 시 관리자에게 연락 필수, 시스템 상 예약만으로 사용 불가능 (장비 교육 필요)