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미래융합소자동 클린룸
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진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)
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고주파유도가열기(CMOS용)
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Furnace
E-beam evaporator
ICP-Asher
CMOS Oxidation Tube Furnace
Manual Mask Aligner
미래융합소자동 클린룸
진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)
열을 이용해 시료를 녹여 증착한다
설치장소
미래융합소자동 클린룸 Nano infor Room
모델명
KVE-T4000
담당자 정보
강동길
gobong988@kaist.ac.kr
사용료
무료
최초 사용 희망 시 관리자에게 연락 필수, 시스템 상 예약만으로 사용 불가능 (교육 필요)
* 희망하는
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