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KAIST 반도체공학대학원 공동장비 예약 메인으로 이동

장비 예약

  • 미래융합소자동 1층 측정실 FESEM/EDS

    1. 자율사용자 교육 (매달 두번째, 네번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
    2. 로그북 필수 작성 
    3. 측정 불가 시료: Powder, Carbon nanotube, 기타 입자들이 진공상 증발되는 시료. 
    4. Pt coating이 필요한 시료는 KARA에서 측정
    .
    .
    주요사양
    1. 분해능(최적 작동거리 상) : 0.8 nm at 15kV /  0.9 nm at1 kV / 1.5 nm at 200V
    2. 측정 가능 영역 :  ≤ 100 nm ~ 1.5 mm
    3. 가속전압 : 50 V ~ 30 kV / 빔 전류 : 1 pA ~ 22 nA
    4. 5축 피에조 스테이지 : 
    - XY: 100 mm, 
    -  Z: ≥ 20 mm, 
    - T: - 10 ° to + 60 °, 
    - R: 360 ° continuous

    • 설치장소 미래융합소자동 1층 측정실
    • 모델명 Magellan400
    • 담당자 정보

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    • 사용료 무료
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[14:00~16:50] 자율사용자 교육
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