카이스트 반도체공학대학원
공동장비예약시스템
카이스트 반도체공학대학원의 공동 장비 정보를
종합적으로 제공하고 편리한 예약을 도와드립니다.

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금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비
예약 불가












<예약관련>
(1) 자율사용자 교육 (매달 두번째/네번째 화요일 2시, 장소: 해당 측정실) 후 예약가능. (일자와 시간을 정해서 이메일 신청: cheolminpark@kaist.ac.kr)
(2) 최소 1시간 예약, 최대3시간 예약
(3) 24시간 예약 사용 가능.
(1) 파우더등 날리는 시료 및 부착이 단단하지 않은 carbon nanotube 및 nanowire 측정 금지.
(2) Vent할때 뚜껑이 아직 닫혀 있는데 과도하게 당겨서 열려고 하지 말 것
(3) Pumping할 때 살짝 뚜껑을 손으로 누르고 있는 상태에서 Pump 버튼을 누른 후 누르는 상태를 10초간 유지.
(4) Working distance를 좁힐 때 조금씩 좁히며, Pole piece에 닿지 않게 주의. (카메라 화면을 보면서 GoTo를 누른 후 pole piece에 닿을 것 같으면 바로 Stop 버튼을 누름)
(5) 전압과 전류를 한번에 과도하게 높이지 말고 점진적으로 높이거나 줄임.
(6) 종료 시 저배율로 하고 전압, 전류 낮춘 후 beam off함.
(7) 시료 수거 후 안전하게 (3)과 같이 Pumping하여 진공 잡고 퇴장함.
*기타 이슈사항 발생시 관리자에게 꼭 연락 (cheolminpark@kaist.ac.kr)
.

<사용 사항>
(1) 해당 장비는 예약없이 사용을 바로 할 수 있음. 사용자가 있을 경우 기다렸다가 사용함.
(2) 조명은 on한 후 천천히 세기를 올리고, 끌 때도 조명 세기를 약하게 한 후 off함.
(3) 측정 종료 후 조명 끄는 것 잊이 말 것.
< 장비 사양>
(1) Objective lens : x4, x10, x20, x50, x100
(2) 영상 프로그램을 통해서 이미지 캡쳐 및 길일 측정 가능
(3) x50 objective lens의 경우 bright field 뿐아니라 Dark field 측정도 가능
(4) 480 nm, 550 nm 조명 필터 : 해당 빛 파장에 대한 형광이미징 가능
U-25Y48 filter : 480 nm 부근 파장을 입사광으로 사용
U-25IF550 filter : 550 nm 부근 파장을 입사광으로 사용
(5) 편광 특성 측정 가능
U-PO3 filter : linear polarizer 조명을 특정 편광으로 조사.
U-AN360-3 : analyzer 손으로 각도를 조절하여 해당 편광 특성 확인.
예약 불가