카이스트 반도체공학대학원
공동장비예약시스템
카이스트 반도체공학대학원의 공동 장비 정보를
종합적으로 제공하고 편리한 예약을 도와드립니다.

* 카이스트 소속 임직원/학부생과
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금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비
예약 불가












<예약관련>
(1) 자율사용자 교육 (매달 두번째/네번째 화요일 2시/4시 타임) 후 예약가능. (일자와 시간을 정해서 이메일 신청: cheolminpark@kaist.ac.kr)
(2) 최소 1시간 예약, 최대3시간 예약
(3) 24시간 예약 사용 가능.
(1) 파우더등 날리는 시료 및 부착이 단단하지 않은 carbon nanotube 및 nanowire 측정 금지.
(2) Vent할때 뚜껑이 아직 닫혀 있는데 과도하게 당겨서 열려고 하지 말 것
(3) Pumping할 때 살짝 뚜껑을 손으로 누르고 있는 상태에서 Pump 버튼을 누른 후 누르는 상태를 10초간 유지.
(4) Working distance를 좁힐 때 조금씩 좁히며, Pole piece에 닿지 않게 주의. (카메라 화면을 보면서 GoTo를 누른 후 pole piece에 닿을 것 같으면 바로 Stop 버튼을 누름)
(5) 전압과 전류를 한번에 과도하게 높이지 말고 점진적으로 높이거나 줄임.
(6) 종료 시 저배율로 하고 전압, 전류 낮춘 후 beam off함.
(7) 시료 수거 후 안전하게 (3)과 같이 Pumping하여 진공 잡고 퇴장함.
*기타 이슈사항 발생시 관리자에게 꼭 연락 (cheolminpark@kaist.ac.kr)
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