메인으로 이동

300mm 영역까지 측정 가능한 최적화된 QA/QC 프로파일러

Ar, O2 plasma 처리

최대 900 도 온도까지 조절할 수 있는 전기로

마스크 얼라이너 및 노광장치

금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비

H2, N2, O2 유입 및 열처리를 통한 Si wafer oxidation

금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비

Ar, O2, SF6 plasma 처리

페릴린 코팅

Polymer (PDMS, SU-8, Polyimide, Teflon 등) Etching

열을 이용해 시료를 녹여 증착한다

전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비

고온에서 열처리를 위한 장비

고온에서 열처리를 위한 장비