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카이스트 반도체공학대학원
공동장비예약시스템

카이스트 반도체공학대학원의 공동 장비 정보를
종합적으로 제공하고 편리한 예약을 도와드립니다.

나노종합기술원 교육용팹
Alpha Step

300mm 영역까지 측정 가능한 최적화된 QA/QC 프로파일러

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나노종합기술원 교육용팹
ICP-Asher

Ar, O2 plasma 처리

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나노종합기술원 교육용팹
Furnace

최대 900 도 온도까지 조절할 수 있는 전기로

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나노종합기술원 교육용팹
Manual Mask Aligner

마스크 얼라이너 및 노광장치

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나노종합기술원 교육용팹
MEMS Thermal Evaporator

금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비

예약 불가

나노종합기술원 교육용팹
CMOS Oxidation Tube Furnace

H2, N2, O2 유입 및 열처리를 통한 Si wafer oxidation

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나노종합기술원 교육용팹
E-beam evaporator

금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비

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미래융합소자동 클린룸
Plasma RIE

Ar, O2, SF6 plasma 처리

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미래융합소자동 클린룸
페릴린 코팅 장치

페릴린 코팅

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미래융합소자동 클린룸
Polymer Etcher

Polymer (PDMS, SU-8, Polyimide, Teflon 등) Etching

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미래융합소자동 클린룸
마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)

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미래융합소자동 클린룸
진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)

열을 이용해 시료를 녹여 증착한다

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미래융합소자동 클린룸
전자빔 증착기 (Ebeam)

전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비

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미래융합소자동 클린룸
고주파유도가열기(CMOS용)

고온에서 열처리를 위한 장비

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미래융합소자동 클린룸
고주파유도가열기(MEMS용)

고온에서 열처리를 위한 장비

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미래융합소자동 1층 측정실
AFM

1. 자율사용자 교육 (매달 첫번째, 세번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
2. 자율사용자 교육은 Topology 측정에만 해당. 
3. 로그북 필수 작성 
4. AFM tip은 랩별 별도 구비해서 가져와서 사용.(추천하는 AFM tip)
      A. Topology  (non-contact)   : NCHR-10  
      B. DCEFM/CAFM (contact)    : NSC36-Cr/Au, NSC36-Ti/Pt , PPP-CONTSCPt
      C. EFM/KPFM (non-contact) : NSC14-Cr/Au, PPP-NCSTAu 
      D. MFM   : PPP-MFMR 
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주요사양
1. XY scan range: 5x5 𝜇𝑚 ~ 100x100 𝜇𝑚
2. Mode : Contact, Non-contact
3. Measurement :
- Topology 
- Lateral Force Microscopy (LFM) 
- Electrostatic Force Microscopy (EFM)
- Conductive-AFM (CAFM)
- Kelvin probe microscopy (KPFM)
- Magnetic Force Microscopy (MFM)

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미래융합소자동 1층 측정실
FESEM/EDS

1. 자율사용자 교육 (매달 두번째, 네번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
2. 로그북 필수 작성 
3. 측정 불가 시료: Powder, Carbon nanotube, 기타 입자들이 진공상 증발되는 시료. 
4. Pt coating이 필요한 시료는 KARA에서 측정
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주요사양
1. 분해능(최적 작동거리 상) : 0.8 nm at 15kV /  0.9 nm at1 kV / 1.5 nm at 200V
2. 측정 가능 영역 :  ≤ 100 nm ~ 1.5 mm
3. 가속전압 : 50 V ~ 30 kV / 빔 전류 : 1 pA ~ 22 nA
4. 5축 피에조 스테이지 : 
- XY: 100 mm, 
-  Z: ≥ 20 mm, 
- T: - 10 ° to + 60 °, 
- R: 360 ° continuous

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