카이스트 반도체공학대학원
공동장비예약시스템
카이스트 반도체공학대학원의 공동 장비 정보를
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나노종합기술원 교육용팹
MEMS Thermal Evaporator
금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비
예약 불가











미래융합소자동 1층 측정실
AFM
예약하기
1. 자율사용자 교육 (매달 첫번째, 세번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
2. 자율사용자 교육은 Topology 측정에만 해당.
3. 로그북 필수 작성
4. AFM tip은 랩별 별도 구비해서 가져와서 사용.(추천하는 AFM tip)
A. Topology (non-contact) : NCHR-10
B. DCEFM/CAFM (contact) : NSC36-Cr/Au, NSC36-Ti/Pt , PPP-CONTSCPt
C. EFM/KPFM (non-contact) : NSC14-Cr/Au, PPP-NCSTAu
D. MFM : PPP-MFMR
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주요사양
1. XY scan range: 5x5 𝜇𝑚 ~ 100x100 𝜇𝑚
2. Mode : Contact, Non-contact
3. Measurement :
- Topology
- Lateral Force Microscopy (LFM)
- Electrostatic Force Microscopy (EFM)
- Conductive-AFM (CAFM)
- Kelvin probe microscopy (KPFM)
- Magnetic Force Microscopy (MFM)

미래융합소자동 1층 측정실
FESEM/EDS
예약하기
1. 자율사용자 교육 (매달 두번째, 네번째 화요일 2시) 후 예약가능 (신청: 박철민/cheolminpark@kaist.ac.kr)
2. 로그북 필수 작성
3. 측정 불가 시료: Powder, Carbon nanotube, 기타 입자들이 진공상 증발되는 시료.
4. Pt coating이 필요한 시료는 KARA에서 측정
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주요사양
1. 분해능(최적 작동거리 상) : 0.8 nm at 15kV / 0.9 nm at1 kV / 1.5 nm at 200V
2. 측정 가능 영역 : ≤ 100 nm ~ 1.5 mm
3. 가속전압 : 50 V ~ 30 kV / 빔 전류 : 1 pA ~ 22 nA
4. 5축 피에조 스테이지 :
- XY: 100 mm,
- Z: ≥ 20 mm,
- T: - 10 ° to + 60 °,
- R: 360 ° continuous