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마스크 얼라이너 및 노광장치

금속 (Cu, Al, Ni, Cr, Au 등) 시료에 열을 가해 녹인 후 evaporation 시켜 금속박막증착이 가능한 장비

H2, N2, O2 유입 및 열처리를 통한 Si wafer oxidation

Ar, O2 plasma 처리

금속 (Cr, Ti, Pt, Au, Pd 등)에 전자 빔을 가해 녹이고 증발시켜 금속 박막을 증착하는 장비

최대 900 도 온도까지 조절할 수 있는 전기로

Ar, O2, SF6 plasma 처리

페릴린 코팅

Polymer (PDMS, SU-8, Polyimide, Teflon 등) Etching

전자빔을 통해 금속 박막을 증착하는 장비

고온에서 열처리를 위한 장비

고온에서 열처리를 위한 장비

열을 이용해 시료를 녹여 증착한다