장비 정보 | KAIST 반도체공학대학원 공동장비 예약

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장비 정보

미래융합소자동 클린룸 Plasma RIE
Ar, O2, SF6 plasma 처리
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 나노에너지
- 모델명 CIONE 4
- 담당자 정보
  고영규 ykko@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 페릴린 코팅 장치
페릴린 코팅
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 나노바이오
- 모델명 OBT-PC300
- 담당자 정보
  이주현 juulee@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 Polymer Etcher
Polymer (PDMS, SU-8, Polyimide, Teflon 등) Etching
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 에너지룸
- 모델명 V15-G
- 담당자 정보
  김이현 kyh5843@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 마스크/본드 얼라이너 (Mask/Bond Aligner)
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 1층 옐로우룸
- 모델명 MA/BA 6 Gen4
- 담당자 정보
  백우진 woojinbaek@kaist.ac.kr
- 사용료 무료
미래융합소자동 클린룸 진공증착기(THERMAL EVAPORATOR)
열을 이용해 시료를 녹여 증착한다
- 설치장소 미래융합소자동 클린룸 Nano infor Room
- 모델명 KVE-T4000
- 담당자 정보
  강동길 gobong988@kaist.ac.kr
- 사용료 무료